多晶硅:
盐酸,废酸罐,空气冷却器,水冷却器,尾气洗涤塔,盐酸洗涤塔,盐酸吸收塔,尾气吸收塔,淋洗塔。
多晶硅生产线处理的尾气主要成分:主要包含:SiHCL3;HCl;微量SiCL4;气体出口温度:常温,流量:30m3/h。
(1)固体回收
首先,尾气通过HBLFRP无填料喷雾式气体净化塔进气口进入装置内,同时循环液通过泵的作用在装置内喷淋并与气体反应。这时尾气经与循环液的反应生成稀盐酸,三氯氢硅生成二氧化硅和HCl,还有一部分没有被完全吸收的气体(HCl、其它气体)通过出气口,从无填料喷雾式气体净化塔装置内排出进入降膜回收器等一系列盐酸回收装置中。此时稀盐酸和二氧化硅的混合物进入固液分离器中进行固液分离,分离后的固体由出口排出回收收集,分离后的液体流入HBLFRP贮液箱,经液下泵将液体或已补充了水的混合液输入无填料喷雾式气体净化塔中参与循环。
(2)酸尾气回收
经HBLFRP无填料喷雾式气体净化塔反应后的气体物质经排气管进入降膜回收器进行冷却反应生产酸,降膜回收器反应后的稀酸液体经排液管进入贮液箱回收,反应后余下的气体进入一级HBLFRP填料净化塔,一级填料净化塔反应后的稀酸液体进入塔底玻璃钢贮液箱,一级HBLFRP填料净化塔反应后的气体进入二级HBLFRP填料净化塔,二级HBLFRP填料净化塔反应后的稀酸液体进入塔底贮液箱,二级HBLFRP填料净化塔反应后的气体进入真空泵,真空泵反应后的液体进入塔底贮液箱,反应后的氢气体经排气管排出。在本制酸反应过程中,生成的低浓度的稀酸溶液参与到酸循环反应中,用后道工序制成的稀酸溶液补充上道工序减少的循环液中去,浓度达到工艺要求后,集中存放。
对于现场的酸碱盐储存,HBLFRP设计制作的玻璃钢罐大范围在业内推广使用,烟气洗涤塔也采用玻璃钢材质制作。
对于各个工段的循环水冷却,HBLFRP的玻璃钢满足水温的降低需求,水温由60-30℃的系统要求,冷却水数量单台可达到5000m3/H.
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